基于CVD方法生长在硅基底上立方碳化硅的拉曼研究

陈帅，谢灯，丘志仁,Tin Chin-Che，王洪朝，梅霆，万玲玉，冯哲川

光散射学报 ›› 2016, Vol. 28 ›› Issue (2) : 125-130. DOI: 10.13883/j.issn1004-5929.201602006
材料研究中的应用

基于CVD方法生长在硅基底上立方碳化硅的拉曼研究

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Raman Scattering Studies on CVD Grown Cubic SiC Thin Films on Si

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