结合椭圆偏振光谱与傅里叶红外光谱的宽禁带半导体薄膜光学特性表征

doi:10.13883/j.issn1004-5929.201603004

光散射学报 ›› 2016, Vol. 28 ›› Issue (3) : 214-219. DOI: 10.13883/j.issn1004-5929.201603004

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Characterization of Optical Properties of Wide Band Gap Semiconductor Thin Film with the Combination of Ellipsometry and Infrared Spectrum

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Published
2016-09-30
Issue Date
2016-10-20