反向外延生长3C-SiC薄膜中残余应力的工艺优化

王靖宇，邓春纲，马瑶，李芸，杨治美 *，龚敏

光散射学报 ›› 2017, Vol. 29 ›› Issue (4) : 376. DOI: 10.13883/j.issn1004-5929.201704016
其他光谱技术及应用

反向外延生长3C-SiC薄膜中残余应力的工艺优化

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Process Optimization of the Residual Stress by Reverse-Epitaxial Growth 3C-SIC Film

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