射频磁控溅射制备硼碳氮薄膜的拉曼光谱研究

doi:10.13883/j.issn1004-5929.202201002

光散射学报 ›› 2022, Vol. 34 ›› Issue (1) : 6-9. DOI: 10.13883/j.issn1004-5929.202201002

第二十一届全国光散射会议青年学者论文

射频磁控溅射制备硼碳氮薄膜的拉曼光谱研究

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Raman Spectroscopy of Boron Carbon Nitride Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Method

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Published
2022-03-15
Issue Date
2022-08-10