SOI基3C-SiC薄膜的光谱表征
王飞,杨治美,马瑶,龚敏
Spectral Characterization of 3C-SiC Film Grown on SOI Substrate
光散射学报 . 2017, (2): 187 -190 .  DOI: 10.13883/j.issn1004-5929.201702015